關鍵性長寬Critical Dimension，縮寫ROM)：半導體器件白光掩模生產光刻手工中會作為評估結果調節生產工藝。
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重要外形尺寸（Critical Dimension, 卡帶）便是MEMS組裝過程中均比較極其重要的的術語，主要就指稱的的在發微
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關鍵尺寸|特徵尺寸:概述,原理, - 水井 -
